Задній шліфувальний круг використовується для розрідження та тонкого подрібнення кремнієвої пластини.
Алмазні задні шліфувальні круги використовуються для шліфування кремнієвих пластин. наша передова технологія робить можливим шліфувальний круг для подрібнення всіх типів напівпровідникових пластин з меншим пошкодженням поверхні.
Під час шліфування шліфувальний круг і пластина обертаються одночасно навколо власних осей обертання, і колесо подається до пластини вздовж своєї осі. Вісь обертання шліфувального круга зміщується на відстань радіуса круга відносно осі обертання пластини.
Зворотне проріджування, грубе шліфування та тонке подрібнення кремнієвої пластини.
Оброблювана заготовка включає кремнієву пластину з дискретних пристроїв, інтегровані мікросхеми (ІС) та цілісність тощо
Хороша здатність до самоодягання, тривалий термін служби та низькі ціни.
Висока теплопровідність, висока зносостійкість і низький коефіцієнт.
Вкрай бажано, щоб шліфувальні круги генерували лише дуже низькі пошкодження мелених пластин.
Задні шліфувальні круги можна використовувати для японських, німецьких, американських, корейських та інших шліфувальних машин. Такі, як шліфувальний верстат Okamoto, Disco, Strasbaugh та інші.
Модель | Діаметр (мм) | товщина (мм) | отвір (мм) | |||
6A2 |
175 | 30, 35 | 76 | |||
200 | 35 | 76 | ||||
350 | 45 | 127 | ||||
6A2T |
195 | 22,5, 25 | 170 | |||
280 | 30 | 228.6 | ||||
6A2T (три еліпси) |
350 | 35 | 235 | |||
209 | 22.5 | 158 | ||||
інші специфікації можуть бути зроблені відповідно до вимог замовника |